中国国家电子行业超纯水标准
导读：
中国国家电子行业超纯水标准中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997)规定：
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指标名称 |
一级水（EW-1） |
二级水（EW-2） |
三级水 （EW-3） |
四级水 (EW-4) |
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电阻率MΩ.CM. （25℃） |
18(95‰时间)不低于17 |
15(95‰时间)不低于13 |
12.0 |
0.5 |
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硅 ≤μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
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微粒数 ＞1μm |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
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细菌个数 ≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
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铜 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
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锌 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
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镍 ≤μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
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钠 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
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钾 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
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氯 ≤μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
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硝酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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磷酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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硫酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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总有机碳 ≤μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |